circuito integrato

SS101Wafer-Livello Distribuzione Macchine   Per la forma di wafer sotto riempimento SS101 è un sistema di distribuzione a livello di wafer altamente stabile e preciso, sviluppato sulla base dei requisiti del processo di Under fill di RDL First WLP. L'apparecchiatura soddisfa le esigenze dell'industria dei semiconduttori, può essere dotata di un sistema automatico di carico e scarico dei wafer e può realizzare automaticamente funzioni come la movimentazione dei wafer,allineamento.È compatibile con i protocolli internazionali di comunicazione dei semiconduttori.E' dotato di un'interfaccia automatica AMHS per caricare e scaricare i robot, in linea con la requisiti di gestione delle informazioni e tendenze della gestione senza equipaggio.   Layout del sistema SS101   ¢ Loadport & Foup Allineatore Stazione di scansione dei codici QR Stazione di riscaldamento Stazione di dissipazione del calore Stazione di lavoro della macchina di distribuzione GS600SWA Stazione di lavoro della macchina di distribuzione GS600SWB Modulo di manipolazione dei robot     Composizione del sistema di distribuzione a livello di wafer SS101 GS600SW macchina di distribuzione a livello di wafer × 2 PC101 macchina di carico e scarico dei wafer × 1 Campi di applicazione RDL Primo WLP Applicazione di CUF SS101 Flusso operativo di distribuzione a livello di wafer Caratteristiche e vantaggi Supporta la distribuzione di wafer da 8/12 pollici. Livello di resistenza alla polvere 10, conforme ai requisiti ambientali degli imballaggi a livello di wafer. Protezione ESD conforme alle norme internazionali IEC e ANSI. In tutto il processo di rotazione e di funzionamento dei wafer, la temperatura è controllata con precisione e corretta automaticamente per soddisfare i requisiti del processo CUF, garantendo al contempo la sicurezza del prodotto. Il video monitoraggio dell'intero processo facilita la rotazione del prodotto, l'osservazione del processo operativo e il tracciamento e l'analisi dei problemi   Specifiche tecniche   Sistema SS101 GS600SWA * 1,GS600SWB * 1, PC101 Wafer Handling Machine * 1 (EFEM) Campi di applicazione RDL Prima WLP, CUFApplicazione Livello di pulizia Pulizia dell'area di lavoro Classe 100 (officina di classe 1000) Classe 10 (officina di classe 100)     Campo di applicazione del prodotto Supporto per le dimensioni dei wafer φ200 mm±0 0,5 mm, φ300 mm±0,5 mm (Il modello standard supporta solo i wafer da 12 pollici) Supporto per lo spessore della wafer 300-2550 μm Distanza massima di curvatura ammissibile del wafer < 5 mm (secondo il tipo di Robot Finger) Peso massimo ammissibile del wafer 600 g (secondo il tipo di Robot Finger) Formato di cassetta di wafer 8 pollici Open Cassette, 12 pollici Foup (il modello standard supporta solo i wafer da 12 pollici)     PC101 (EFEM) Metodo di carico e scarico Portello di carico+Robot Precisione del pre-allineatore Diviazione di correzione del centro rotondo≤±0,1 mm; Diviazione di correzione dell' angolo≤±0,2 ° lettore di wafer Supporta caratteri SEMI (superfici piatte o concave/convexe), caratteri non SEMI Intervallo di temperatura di preriscaldamento Temperatura ambiente ~ 180°C Metodo di raffreddamento dei wafer raffreddamento naturale o raffreddamento ad aria     Sistema di distribuzione del movimento Meccanismi di trasmissione X/Y: motore lineare Z: servomotore e modulo a vite Ripetibilità X/Y: ±3μmZ: ±5μm Precisione di posizionamento X/Y: ± 10 μm Velocità massima di movimento X/Y: 1000 mm/s Z: 500 mm/s Max. velocità accelerata X/Y: 1g Z: 0,5g   Sistema di visione Pixel della fotocamera 130 W Precisione di riconoscimento ± 1 pixel Intervallo di riconoscimento 12 × 16 mm < gamma di riconoscimento < 19,2 × 25,6 mm Fonte luminosa Fonte luminosa tricolore combinata rosso, verde, bianco + rosso Sistema di calibrazione della pesatura Precisione di pesatura 00,01 mg     Confezionamento di una parte di una macchina Diviazione della piattazza della superficie del vuoto ≤ 3 0 um Temperatura di riscaldamento Temperatura ambiente ~ 180°C deviazione della temperatura di riscaldamento ≤ ± 1,5 °C Ripetibilità dell'altezza di sollevamento ± 10 μm Pressione di aspirazione a vuoto -70~-85Kpa regolabile           Strutture Impronta (W*D*H) 3075×2200×2200mm ((Display dispiegato) Peso 2.9t Fornitore di alimentazione 200~240VAC,47~63HZ (alimentazione di adattamento di tensione monofase) Corrente elettrica 75A Potenza 16.5KW Inalazione (0,5Mpa, 450L/min) ×5 modo Temperatura ambiente di funzionamento. 23°C±3°C Umidità relativa dell'ambiente di lavoro 30 ~ 70%    

GS600DD Dispensatore completamente automatico   Per Dam & Fill La macchina di distribuzione completamente automatica GS600DD è un equipaggiamento di distribuzione ad alta stabilità e alta precisione sviluppato sulla base dei requisiti del processo di Dam & Fill di FCBGA, ecc.L'apparecchiatura soddisfa le esigenze dell'industria dei semiconduttori, è dotato di un sistema automatico di carico e scarico e può realizzare automaticamente le funzioni di carico e scarico di magazzini, getto di colla di diga e getto di colla di sotto riempimento.E'compatibile con i protocolli internazionali di comunicazione dei semiconduttori., e corrisponde ai requisiti di gestione delle informazioni e alle tendenze della gestione senza equipaggio.   Composizione del sistema GS600DD macchina di distribuzione completamente automatica × 1 macchina automatica di carico e scarico di riviste × 1   Flusso operativo Caricamento dei magazzini -Scattazione di colla -Scattazione di colla -Scattazione di colla -Scattazione dei magazzini   Caratteristiche e vantaggi Buon assorbimento degli urti con struttura a telaio minerale per ridurre efficacemente l'impatto causato dall'utilizzo di apparecchiature ad alta velocità. rilevamento capacitivo e rilevamento a induzione laser per evitare la perdita del prodotto causata da una quantità insufficiente di colla livello di resistenza alla polvere 10, conforme ai requisiti dell'ambiente di imballaggio. Funzione di compensazione della posizione di somministrazione automatica per garantire l'accuratezza di somministrazione Protezione ESD conforme alle norme internazionali IEC e ANSI. Funzione di rilevamento della larghezza della colla per evitare i rischi di processo causati da una cattiva distribuzione. Specifiche tecniche   Modello GS600DD Composizione del sistema GS600DD * 1,Magazine macchina di carico e scarico automatico * 1 Campi di applicazione FCBGA, incapsulamento di legame con filo Livello di pulizia Pulizia dell'area di lavoro Classe 100 (laboratorio di classe 1000) Classe 10 (laboratorio di classe 100) Sistema di trasmissione Dimensioni 770 × 1650 × 2100 mm Sistema di trasmissione X/Y:Motore lineare Z:Servo-motore e modulo a vite Ripetibilità (3 sigma) X/Y: ±5 μm Z: ±10 μm Precisione di posizionamento (3 sigma) X/Y: ±10 μm Z: ±25 μm Velocità massima di movimento X/Y:1300mm/s Z: 500mm/s Max. velocità accelerata X/Y:1.3g Z:0.5g Distribuzione 355 mm × 595 mm Risoluzione della griglia 1 μm Accuratezza di abbinamento visivo ripetitivo 5 μm Accuratezza della posizione in un singolo punto dell'adesivo ≤ ± 30 μm Metodo di taratura e compensazione dell'altezza dell'asse Z Sensore laser Precisione del sensore laser ± 1 μm Specificità dell'asse Z. Doppia testa asincrona Tipo di siringa applicabile 5cc, 10cc, 30cc, 50cc, 70cc Precisione del peso della colla 10 mg±3%, 5 mg±5% Precisione del modulo di pesatura 220 g/0,1 mg Modulo di visione Pixel 500W (2048×2448dpi) Lenti 0.2X lente telecentrica Vista della fotocamera 35 × 35 mm Precisione a singolo pixel 17um Determinazione della larghezza della colla ≥ 170um Risultati di valutazione del rischio < 2,5% AOI FAR (tasso di rilevamento mancante) 0 Metodo di posizionamento visivo Caratteristiche dell'aspetto del marchio/del prodotto capacità di correzione dell'angolo della valvola secondaria rispetto alla valvola principale 0-180° (7 × 7 mm) Pezzo di lavoro 0-3° (110×110 mm pezzo di lavoro) Metodo di tiro Colpo di posizionamento/colpo di volo Strutture Temperatura ambiente e umidità 25°C±5°C, 30 ~ 70% Impresa W × D × H 770×1650×2100 mm (con carico e scarico)    

GS600SU Non riempire Distribuzionedi sicurezza Macchine per Die Form Underfil ll   GS600 SU è un sistema automatico di distribuzione online ad alta velocità e precisione, sviluppato sulla base dei requisiti del processo Underfill di FCBGA/FCCSP. Il sistema controlla rigorosamente la temperatura del prodotto e dell'adesivo e seleziona in modo intelligente la sequenza di funzionamento del prodotto e il tempo di ricarica della colla,ridurre la generazione di vuoti e garantire il rendimento operativoNel frattempo, è compatibile con i protocolli internazionali di comunicazione a semiconduttori e soddisfa i requisiti di gestione delle informazioni.   ■Campi di applicazione FCBGA Packaging CUF Applicazione FCCSP Packaging CUF Applicazione SiP Packaging CUF Applicazione   ■ Specifiche tecniche Campi di applicazione FCBGA, FCCSP, SIP Processo applicabile Non riempire sufficientemente il modulo Livello di pulizia Pulizia dell'area di lavoro Classe 100 (officina di classe 1000) Classe 10 (officina di classe 100)         Trasmissione Meccanismo Sistema di trasmissione X/Y:Motore lineare Z: Servomotore e modulo a vite Ripetibilità (3 sigma) X/Y: ±0,003 mm, Z: ±0,005 mm Precisione di posizionamento (3 sigma) X/Y: ± 0,010 mm, Z: ± 0,015 mm Velocità massima di movimento X/Y: 1000 mm/s Z: 500 mm/s Max. velocità accelerata X/Y: 1 g, Z: 0,5 g Risoluzione della griglia 1 μm Distanza di movimento dell'asse Z ((W × D) 3 5 0 mm × 4 7 0 mm Metodo di taratura e compensazione dell'altezza dell'asse Z Sensore laser (sensore laser) Precisione del sensore laser 2 μm           Sistema di distribuzione Precisione di controllo della colla ± 3 % / 1 mg Ripetibilità della posizione a singolo punto CPK>1.0 ± 25 μm Diametro minimo dell'ugello 30 μm Peso minimo della colla a singolo punto 0,001 mg/punto Viscosità massima del fluido 200000cps Frequenza massima di getto 1000 Hz Temperatura di riscaldamento del conduttore/ugello Temperatura ambiente ~ 200°C deviazione della temperatura di riscaldamento del corridore/ugello ± 2 °C Specificativi applicabili per l'imballaggio adesivo. 5CC/10CC/30CC/50CC/70CC Intervallo di raffreddamento della siringa Si raffredda fino a 15°C al di sotto della temperatura ambiente. Intervallo di raffreddamento in piezo Si raffredda fino alla temperatura della fonte di aria compressa.             Sistema di tracciato Numero di binari 2 Numero di sezioni della cintura Un pezzo. Max. velocità di trasmissione della rotaia 300 mm/s Peso massimo della trasmissione della rotaia 3 kg Disponibilità minima dei bordi 3 mm Intervallo di regolazione della larghezza del binario 60 mm~ 162 mm regolabile Metodo di regolazione della larghezza del binario Manuale Altezza del binario 910 mm~960 mm regolabile Spessore massimo del substrato/supporto applicabile 6 mm Intervallo di lunghezza del substrato/portatore applicabile 60 mm-325 mm Intervallo di pressione di aspirazione sotto vuoto -50~-80Kpa regolabile Intervallo di temperatura di riscaldamento inferiore Temperatura ambiente ~ 180°C Diviazione della temperatura di riscaldamento inferiore ≤ ± 1,5 °C       Strutture Impronta W × D × H 2380mm*1550mm*2080mm ((Incluso il display di carico e scarico) 2380mm*1200mm*2080mm ((Incluso il carico e lo scarico, escluso il display) Peso 1600 kg Fornitore di alimentazione 200~240VAC,47~63HZ (alimentazione di adattamento di tensione monofase) Corrente elettrica 30A Potenza 6.4KW Inalazione (0,5Mpa, 450L/min) ×2   FCBGA Packaging CUF Applicazione FCCSP Packaging CUF Applicazione SiP Packaging CUF Applicazione Moduli speciali di processo Sistema di gettaggio piezoelettrico speciale CUFIsolamento adesivo + controllo a circuito chiuso della temperatura ceramica piezoelettrica per evitare l'instabilità del sistema causata dall'influenza della temperatura Triplice allarme a basso livelloRilevazione capacitiva + rilevazione magnetica + sistema di pesatura per evitare un cattivo funzionamento causato dalla mancanza di colla Fabbricazione per il riscaldamento ad assorbimento a vuotoLa differenza di temperatura dell'intera superficie dell'apparecchio è ≤ ± 1,5°C,e la temperatura è monitorata e compensata in tempo reale per evitare un cattivo funzionamento causato dalla variazione della temperatura del prodotto durante il funzionamento Traccia da abbassareL'apparecchio di assorbimento a vuoto rimane sempre immobile e il binario si muove su e giù per evitare un cattivo funzionamento causato dalla perdita di piattezza durante il movimento reciproco dell'apparecchio di assorbimento a vuoto. Sistema di carico e scarico di tipo piattaformaLa sequenza di alimentazione viene ordinata automaticamente e l'operazione viene completata entro il limite di tempo del plasmaProgettazione di interfacce uomo-macchina amichevoli Sistema visivoFunzioni di posizionamento e rilevamentoIspezione prima dell'uso per evitare materiali in entrata difettosiIspezione post-operazione per prevenire i difetti dei lotti    

SS200 Capo Appendice Sistema   Si tratta di un sistema di fissaggio del coperchio altamente stabile e preciso sviluppato sulla base dei requisiti di processo Lid Attach di FCBGA/FCCSP. Integrando le funzioni di carico e scarico automatici, distribuzione, attacco del coperchio, Snapcure e ispezione della distribuzione e dell'attacco,il sistema può realizzare automaticamente funzioni tra cui carico e scarico automatici di substrati e coperchi, rivestimento automatico di colla AD & Tim, rilevamento della forma della colla, fissaggio del coperchio e rilevamento dei risultati del fissaggio, tenuta della pressione del coperchio e pre-curaggio.È compatibile con i protocolli internazionali di comunicazione dei semiconduttori., e soddisfa i requisiti pertinenti delle linee di produzione automatizzate.   Composizione del sistema di funzionamento completamente automatico   ¢ macchina di carico KLM201 ¢ Dispensatore GS600SD ¢ AS1 0 0 macchina di montaggio ¢ KUM2 0 1 macchina di scarico * Le macchine di questo sistema sono modulari. * La sequenza o la quantità della macchina di distribuzione, montata la macchina e la macchina di pressatura a caldo possono essere regolate in base a I requisiti di sequenza di processo e rapporto di efficienza.   Caratteristiche e vantaggi Buon assorbimento degli urti con struttura a telaio minerale per ridurre efficacemente l'impatto causato dall'operazione ad alta velocità. Protezione ESD conforme alle norme internazionali IEC e ANSI. Funzione di compensazione della posizione di somministrazione automatica per garantire la precisione di somministrazione. Progettazione modulare dell'intera macchina e funzionamento di distribuzione che supporta la sincronizzazione a doppia valvola con interpolazione/sincronizzazione a doppia valvola. Di livello 10 antipolvere, conforme ai requisiti dell'industria avanzata dell'imballaggio. Funzione di rilevamento della larghezza della colla per evitare i rischi di processo causati da una cattiva distribuzione. Funzione di controllo corrispondente per garantire la qualità del prodotto dopo il completamento di ogni fase del processo. Sistema di carico di tipo piattaforma per supportare il funzionamento continuo di magazzini multipli.   SS200 Campi di applicazione Campi di applicazione FCBGA / FCCSP Applicazione di attaccamento del coperchio (compresa la colla AD, la colla Tim, l'attaccamento del coperchio, Snapcure) Dimensione PKG appropriata 5 mm × 5 mm- 110 mm × 110 mm Max, barca grande. L × W ≤ 325 mm × 162 mm Max, la barca è a posto. 3 kg (compreso il peso del prodotto) Maggiore dimensione del caricatore. L × W × H≤ 330 mm × 165 mm × 180 mm Capo vassoio dimensione e L × W≤ 3 1 6 mm × 135 mm Metodo di caricamento del coperchio Magasinetto, caricamento in vassoio (standard); alimentazione con cintura (opzionale); tubo/vassoio morbido (personalizzabile)   SS200 Strutture pubbliche Temperatura ambiente e umidità 25°C±5°C, 30 ~ 70% Impressione W × D × H 5870 mm × 1650 mm × 2100 mm Peso del sistema 5.8T Fornitore di energia 200~240VAC,47~63HZ,alimentazione adattabile a tensione monofase Corrente elettrica 81A Potenza 18 kW Inalazione 1770L/Min   Modulo di carico e scarico KLM/KUM201 KLM/ KUM201Loader & Un loader Dimensione 1 2 0 0 mm × 6 1 5 mm × 2 0 14 mm FM Pulizia e quarantena Doccia a tenda a aria ionica all'ingresso Barca Qty. 3 pezzi Modalità di carico Tipo di piattaforma Ripetibilità (3 sigma) Z/Y: < 0,05 mm Max. velocità di movimento Z/Y: 300 mm/s Velocità massima. Z/Y: 3000 mm/s2     Protezione dei prodotti 1.Nello stato di funzionamento normale/in caso di interruzione temporanea dell'alimentazione della macchina, l'asse di movimento rimane in posizione per evitare che il prodotto cada 2. dotato di luci di diversi colori che visualizzano lo stato del vassoio 3. in grado di rilevare il vassoio che spunta fuori dalla barca e quindi fermarsi e allarmare 4. in grado di rilevare e allarmare il blocco del materiale 5. in grado di rilevare e allarmare la posizione di funzionamento anormale del vassoio